FLOURO福樂(lè)搬運(yùn)晶圓卡盤BC-K12-300
活躍于半導(dǎo)體制造工廠、醫(yī)療設(shè)備應(yīng)用和食品制造工藝等廣泛市場(chǎng)

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2025-03-29

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

訪問(wèn) 量：155

服務(wù)熱線

023-66376665

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

工具、包裝類

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產(chǎn)品介紹

FLOURO福樂(lè)搬運(yùn)晶圓卡盤BC-K12-300
FLOURO福樂(lè)搬運(yùn)晶圓卡盤BC-K12-300

晶圓非接觸轉(zhuǎn)移伯努利卡盤 BC 系列的特點(diǎn)

主體可以從手柄的 20 度、45 度和 90 度三個(gè)使用角度中進(jìn)行選擇，用于平面放置的 BC-K 系列兼容 2 英寸到 12 英寸。
（使用角度為固定角度，不更換主機(jī)無(wú)法改變使用角度。
導(dǎo)向擋塊具有柔和的錐度，以便晶圓邊緣與點(diǎn)接觸。
由防靜電聚碳酸酯制成的導(dǎo)向環(huán)可以進(jìn)行目視定位，并且可以檢查吸入狀態(tài)。
由于主體使用導(dǎo)電尼龍樹(shù)脂，減輕了重量。
兩面都有圖案印刷，可以處理難以處理的薄至 50 μm 的晶圓。
我們還支持定制產(chǎn)品，例如與對(duì)象匹配的方形。

由于伯努利卡盤是在高壓下使用的，因此出于安全原因，建議以與相同的方式將按鈕朝下使用。（請(qǐng)參考左圖。）

要使用伯努利卡盤，您需要一臺(tái)壓縮機(jī)和一個(gè)油箱為 9 升或更高的調(diào)節(jié)器。
（我們不出售它）

非接觸式用于輸送Bernoulli 卡盤

用于平面放置

材料
本體：導(dǎo)電 MC 尼龍
導(dǎo)環(huán)：防靜電聚碳酸酯
附屬品
導(dǎo)電管 6×4 （1.5m）
使用角度
20° / 45° / 90°

自適應(yīng)晶圓尺寸	代號(hào)	氣壓（MPa）	重量（g）
2 英寸	BC-K2 型	0.1	50
3 英寸	BC-K3 系列	0.1	70
4 英寸	BC-K4 型	0.15	80
5 英寸	BC-K5 系列	0.15	100
6 英寸	BC-K6 型	0.15	120
8 英寸	BC-K8 系列	0.2	170

平面貼裝時(shí)：300 微米或更小

材料
本體：導(dǎo)電 MC 尼龍
導(dǎo)環(huán)：防靜電聚碳酸酯
附屬品
導(dǎo)電管 6×4 （1.5m）
使用角度
20° / 45° / 90°

自適應(yīng)晶圓尺寸	代號(hào)	氣壓（MPa）	重量（g）
6 英寸	BC-K6-300型	0.15	170
8 英寸	BC-K8-300型	0.2	220
12 英寸	BC-K12-300 系列	0.35	430

對(duì)于 protoss 載體：300 微米或更小

材料
本體：導(dǎo)電 MC 尼龍
導(dǎo)環(huán)：防靜電聚碳酸酯
附屬品
導(dǎo)電管 6×4 （1.5m）
使用角度
45° / 90°

自適應(yīng)晶圓尺寸	代號(hào)	氣壓（MPa）	重量（g）
6 英寸	BC-P6-300	0.15	180
8 英寸	BC-P8-300	0.2	240
12 英寸	BC-P12-300	0.35	450

臺(tái)式Bernoulli

這將是一個(gè)特定于客戶的訂單。
新開(kāi)發(fā)的吸附部分由抗靜電塑料制成，通過(guò)精密加工制造出吸附高的結(jié)構(gòu)。
當(dāng)氣體從墊片表面的注射孔注入時(shí)，氣體的粘度將工件向上拉，并產(chǎn)生伯努利效應(yīng)引起的吸附力。利用這一點(diǎn)的革命性產(chǎn)品是臺(tái)式伯努利系統(tǒng)。

低壓空氣通過(guò)墊表面一個(gè)具有仰角的小直徑孔注入，當(dāng)它靠近工件時(shí)，工件被伯努利效應(yīng)拉起并吸附。由于它是非接觸式的，因此可以在不損壞工件的情況下進(jìn)行運(yùn)輸。（壓力： 50 kPa，流量： 4.5 升）
作部分為筆式小氣閥（采用C001），作輕柔，有筆觸的感覺(jué)。

使用的材料